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EnglishA microlithographic process suited for metal patterning on cylindrical dielectric substrates has been developed. This includes all steps from metal coating to final etching, with resolution in the 5 μm range.
Lullo G., Arnone C., & Giaconia G.C. (1997). Technologies for the fabrication of cylindrical fine line devices. MICROELECTRONIC ENGINEERING, 35(1-4), 417-420.
| Data di pubblicazione: | 1997 | |
| Titolo: | Technologies for the fabrication of cylindrical fine line devices | |
| Autori: | ||
| Citazione: | Lullo G., Arnone C., & Giaconia G.C. (1997). Technologies for the fabrication of cylindrical fine line devices. MICROELECTRONIC ENGINEERING, 35(1-4), 417-420. | |
| Rivista: | ||
| Digital Object Identifier (DOI): | http://dx.doi.org/10.1016/S0167-9317(96)00118-9 | |
| Abstract: | A microlithographic process suited for metal patterning on cylindrical dielectric substrates has been developed. This includes all steps from metal coating to final etching, with resolution in the 5 μm range. | |
| Settore Scientifico Disciplinare: | Settore ING-INF/01 - Elettronica | |
| Appare nelle tipologie: | 1.01 Articolo in rivista |
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| File | Descrizione | Tipologia | Licenza | |
|---|---|---|---|---|
| Technologies for fabrication of Cylindrical fine line devices.pdf | Versione Editoriale | Administrator Richiedi una copia |
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http://hdl.handle.net/10447/427584
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