Scandurra, A., Indelli GF, Pignataro, B., Di Marco S, Di Stefano, M.A., Ravesi, S., et al. (2008). Tantalum nitride thin film resistors by low temperature reactive sputtering for plastic electronics. SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 40(3-4), 758-762 [10.1002/sia.2681].

Tantalum nitride thin film resistors by low temperature reactive sputtering for plastic electronics

PIGNATARO, Bruno Giuseppe;
2008-01-01

2008
Scandurra, A., Indelli GF, Pignataro, B., Di Marco S, Di Stefano, M.A., Ravesi, S., et al. (2008). Tantalum nitride thin film resistors by low temperature reactive sputtering for plastic electronics. SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 40(3-4), 758-762 [10.1002/sia.2681].
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